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发明名称 VORRICHTUNGEN UND VERFAHREN ZUR STEUERUNG DER IONENQUELLE IN IONEN-IMPLANTIERUNGSGERAETEN.
摘要
申请公布号 DE3679750(D1) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 DE19863679750 申请日期 1986.09.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 PLUMB, FREDERICK, HORSHAM WEST SUSSEX, GB;WRIGHT, CHRISTOPHER, FINDON, WEST SUSSEX, GB;BRIGHT, NICHOLAS JOHN, COWFOLD, WEST SUSSEX, GB;AITKEN, DEREK, SOUTH HOLMWOOD, DORKING, SURREY, GB;HARRISON, BERNARD, CRAWLEY, GB
分类号 H01L21/265;H01J27/02;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/24;H01J37/248;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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