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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR REACTIVE SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH03166366(A) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 JP19890305726 申请日期 1989.11.25
申请人 DAICEL CHEM IND LTD 发明人 KOTANI KAZUMI;YASUDA YASUNOBU
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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