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发明名称 WIRBELEINRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINES SUBSTRATES, INSBESONDERE EINER HALBLEITERSCHEIBE.
摘要
申请公布号 DE3583173(D1) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 DE19853583173 申请日期 1985.03.06
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 ARII, KATSUYUKI, TAMA-SHI TOKYO 206, JP
分类号 B05C11/08;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H05K13/00 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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