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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ISOLATIONSGRAEBEN IN EINEM HALBLEITER.
摘要
申请公布号 DE3770727(D1) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 DE19873770727 申请日期 1987.01.27
申请人 NCR CORP., DAYTON, OHIO, US 发明人 KEISER, ELLSWORTH, ALAN, COLORADO SPRINGS, CO 80919, US;MUNDT, STEVEN, RANDALL, PLEASANTON, CA 94566, US
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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