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发明名称 VORRICHTUNG ZUM EBNEN UND ELEKTROSTATISCHEN HALTEN VON WAFERN
摘要
申请公布号 DD292119(A5) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 DD19900337997 申请日期 1990.02.21
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DE 发明人 SCHULZ,KARL-HEINZ,DE;NEULAND,RUDI,DE;ZAPFE,HANS,DE
分类号 H02N13/00;(IPC1-7):H02N13/00 主分类号 H02N13/00
代理机构 代理人
主权项
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