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发明名称 CHEMICAL VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03166371(A) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 JP19890304792 申请日期 1989.11.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI TORU
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/223;H01L21/31 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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