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发明名称 VERFAHREN ZUR PROZESSKONTROLLE UND PROZESSCHARAKTERISIERUNG BEI ABGASBEHANDLUNG VON PLASMA- CVD- UND PECVD- PROZESSEN
摘要
申请公布号 DD292112(A5) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 DD19900337741 申请日期 1990.02.09
申请人 VEB WERK FUER FERNSEHELEKTRONIK,DE 发明人 JANIETZ,PETER-JOHANNES,DE;KUPFER,MICHAEL,DE;REHAK,WOLFGANG,DE;HENRION,GUENTHER,DE
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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