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发明名称 SINGLE AND MULTILAYER COATINGS CONTAINING ALUMINUM NITRIDE
摘要
申请公布号 EP0429272(A3) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 EP19900312555 申请日期 1990.11.19
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 CARPENTER, LESLIE EARL
分类号 B32B15/04;C04B41/87;C23C18/12;C23C20/08;H01L21/318;H05K1/03;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 B32B15/04
代理机构 代理人
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