发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2217909(B) |
申请公布日期 |
1991.07.17 |
申请号 |
GB19880026593 |
申请日期 |
1988.11.14 |
申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KAZUHITO * NIWANO;TATSUHIKO * IKEDA |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/8229;H01L27/06;H01L27/10;H01L27/102;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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