发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 GB2217909(B) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 GB19880026593 申请日期 1988.11.14
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAZUHITO * NIWANO;TATSUHIKO * IKEDA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/8229;H01L27/06;H01L27/10;H01L27/102;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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