METHOD OF DOPING FOR EPITAXIALLY GROWN LAYER,申请号JP19890306044-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF DOPING FOR EPITAXIALLY GROWN LAYER
摘要
申请公布号	JPH03165511(A)	申请公布日期	1991.07.17
申请号	JP19890306044	申请日期	1989.11.24
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	SAITO YOSHIHIKO
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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