| 发明名称 |
ION IMPLANTATION DEVICE AND ION BEAM GENERATION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03165433(A) |
申请公布日期 |
1991.07.17 |
| 申请号 |
JP19900306988 |
申请日期 |
1990.11.13 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
BIKUTAA MOORISU BENBENISUTE |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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