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发明名称
A SINGLE CRYSTAL PULLING APPARATUS
摘要
申请公布号
EP0416799(A3)
申请公布日期
1991.07.17
申请号
EP19900309418
申请日期
1990.08.29
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY, LIMITED
发明人
MIZUISHI, KOJI;ODA, MICHIAKI
分类号
A47F5/00;A47F5/11;A47F5/16;C30B15/00;C30B15/14;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00
主分类号
A47F5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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