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发明名称 SUBSTRATE TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03165025(A) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 JP19890305341 申请日期 1989.11.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TOMIKAWA MITSUHIRO;INABA YUTAKA
分类号 H01L21/22;H01L21/223 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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