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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03165516(A) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 JP19890305912 申请日期 1989.11.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 UGA KIMIHARU;WATABE KIYOTO
分类号 H01L21/768;H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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