MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19890305127-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH03165040(A)	申请公布日期	1991.07.17
申请号	JP19890305127	申请日期	1989.11.24
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	TAKANO HIROZO
分类号	H01L29/812;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/338	主分类号	H01L29/812
代理机构		代理人
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