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发明名称 SILICON THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH03165067(A) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 JP19890304345 申请日期 1989.11.22
申请人 TDK CORP 发明人 ARAI MICHIO;SUGIURA KAZUJI;HASHIO KOUNOSUKE
分类号 H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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