| 发明名称 |
METHOD OF FORMING A SHALLOW N-TYPE REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0137645(B1) |
申请公布日期 |
1991.07.17 |
| 申请号 |
EP19840305531 |
申请日期 |
1984.08.14 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
UENO, KATSUNOBU;HATAISHI, OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/225;H01L29/73;H01L21/22;H01L21/331;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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