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发明名称 Focussing an electron beam
摘要
申请公布号 US5032725(A) 申请公布日期 1991.07.16
申请号 US19900485493 申请日期 1990.02.27
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KANDA, KIMIO
分类号 H01J37/04;H01J37/153;H01J37/21 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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