| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03164494(A) |
申请公布日期 |
1991.07.16 |
| 申请号 |
JP19900223748 |
申请日期 |
1990.08.23 |
| 申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
KANETO TAKESHI;KAMIO HIROSHI;ARAKI KENJI;SHIMA YOSHINOBU |
| 分类号 |
C30B15/02;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
