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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0333063(Y2) 申请公布日期 1991.07.12
申请号 JP19850182715U 申请日期 1985.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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