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发明名称 DEVICE FOR PRODUCING HOMOGENEOUS FILM
摘要
申请公布号 JPH03162579(A) 申请公布日期 1991.07.12
申请号 JP19890299790 申请日期 1989.11.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ARIMA ITSUO
分类号 C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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