| 发明名称 |
ETCHING PROCESS OF THERMAL RESISTANCE METAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03161930(A) |
申请公布日期 |
1991.07.11 |
| 申请号 |
JP19900269717 |
申请日期 |
1990.10.09 |
| 申请人 |
INTEL CORP |
发明人 |
SHIYAOOCHIYAN MU;JIYAGAA MARUTANI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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