发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03161962(A) 申请公布日期 1991.07.11
申请号 JP19890302852 申请日期 1989.11.21
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NISHIMAKI TATSUO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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