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发明名称 REAGENZQUELLE FUER MOLEKULARSTRAHLEPITAXIE.
摘要
申请公布号 DE3863114(D1) 申请公布日期 1991.07.11
申请号 DE19883863114 申请日期 1988.03.23
申请人 BRITISH TELECOMMUNICATIONS P.L.C., LONDON, GB 发明人 TUPPEN, CHRISTOPHER GEORGE, COLCHESTER ESSEX C07 6SD, GB;ANDREWS, DAVID ARTHUR, WOODBRIDGE SUFFOLK, IP13 7BL, GB
分类号 H01L21/203;C23C14/24;C30B23/08;C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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