发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03160747(A) 申请公布日期 1991.07.10
申请号 JP19890299856 申请日期 1989.11.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IWASAKI HIROSHI
分类号 H01L21/82;H01L27/112 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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