发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03160714(A) 申请公布日期 1991.07.10
申请号 JP19890299758 申请日期 1989.11.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKASAKI KANETAKE
分类号 H01L29/205;H01L21/20;H01L21/205;H01L29/267 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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