发明名称 METHOD OF CUTTING OFF FAIL CHIP IN WAFER SCALE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03160740(A) 申请公布日期 1991.07.10
申请号 JP19890300336 申请日期 1989.11.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TATEMATSU TAKEO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址