| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRECISION CLEANING OF WAFER CARRIER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03156925(A) |
申请公布日期 |
1991.07.04 |
| 申请号 |
JP19890295132 |
申请日期 |
1989.11.15 |
| 申请人 |
EBARA CORP;FUJITSU LTD |
发明人 |
UMEZAWA KOICHI;SAITO HARUMITSU;FUJIE NOBUO;SONODA HIROAKI |
| 分类号 |
B08B7/04;C30B35/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B08B7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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