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经营范围
发明名称
MASK PATTERN GENERATION SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH03156958(A)
申请公布日期
1991.07.04
申请号
JP19890296837
申请日期
1989.11.14
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MIWA HISAHARU
分类号
H01L21/82;G06F17/50
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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