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发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON RELIEFSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE3943413(A1) 申请公布日期 1991.07.04
申请号 DE19893943413 申请日期 1989.12.30
申请人 BASF AG, 6700 LUDWIGSHAFEN, DE 发明人 NGUYEN KIM, SON, 6944 HEMSBACH, DE
分类号 C08L61/08;G03F7/004;G03F7/012;G03F7/029;G03F7/032;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 C08L61/08
代理机构 代理人
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