| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE ANALYZER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03155038(A) |
申请公布日期 |
1991.07.03 |
| 申请号 |
JP19890293137 |
申请日期 |
1989.11.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ONO YASUNORI;IGA TAKASHI;KUROSAWA TOMOE;NATSUI KENICHI;SEKIMOTO SHINYA |
| 分类号 |
H01J27/16;H01J49/26;H01J49/44 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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