发明名称 MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03155640(A) 申请公布日期 1991.07.03
申请号 JP19890295519 申请日期 1989.11.14
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MOROZUMI YUKIO
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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