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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03155135(A) 申请公布日期 1991.07.03
申请号 JP19890294609 申请日期 1989.11.13
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAMAMOTO HIROSHI
分类号 H01L23/52;H01L21/31;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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