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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 US5028550(A) 申请公布日期 1991.07.02
申请号 US19900543378 申请日期 1990.06.26
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 HIRAKAWA, KENJI
分类号 H01L29/73;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/768;H01L29/417;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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