发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03154349(A) 申请公布日期 1991.07.02
申请号 JP19890293667 申请日期 1989.11.10
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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