含多环状环戊烷–2–重氮基–1,3–二酮之远U.V.光阻组合物

摘要

含有饱和与未饱和多环状化合物之光敏化剂，该化合物中含有环戊烷－２－重氮基－１，３－二酮结构单位。此等化合物在248毫微米附近具有其最大U.V.吸附值，其在照射下会分解成极性产物，且可在正远U.V.或激元雷射（248毫微米）石版印刷术中作为光敏化剂使用其最佳系可与远U.V.透明树脂并用，以形成光阻。