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发明名称 DEVICE FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH03153594(A) 申请公布日期 1991.07.01
申请号 JP19890293289 申请日期 1989.11.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA HIROAKI;NAKADA YUJI
分类号 C30B11/00;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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