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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03153035(A)
申请公布日期
1991.07.01
申请号
JP19890293329
申请日期
1989.11.10
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MATSUURA MASAZUMI
分类号
H01L21/3205;H01L21/283
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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