| 发明名称 |
MULTIPOLAR CRYSTAL HEAD FOR MONITORING FILM THICKNESS OF VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03153872(A) |
申请公布日期 |
1991.07.01 |
| 申请号 |
JP19900241044 |
申请日期 |
1990.09.11 |
| 申请人 |
REIBORUTO INFUIKON INC |
发明人 |
MAAKU EFU KENDORITSUKU;KAARU EI GOOGORU |
| 分类号 |
C23C14/54;G01B7/06;G01B17/02 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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