发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03153596(A) 申请公布日期 1991.07.01
申请号 JP19890292574 申请日期 1989.11.10
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 OOKAWA YOSHINORI;TOYOSHIMA TOSHIYA
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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