发明名称 METHOD FOR PLOTTING METALLIC WIRE WITH LASER CVD
摘要
申请公布号 JPH03153878(A) 申请公布日期 1991.07.01
申请号 JP19890295805 申请日期 1989.11.13
申请人 NEC CORP 发明人 KITAMURA SHOTARO
分类号 C23C18/14 主分类号 C23C18/14
代理机构 代理人
主权项
地址