发明名称
摘要
申请公布号 JPH0331080(Y2) 申请公布日期 1991.07.01
申请号 JP19840124389U 申请日期 1984.08.16
申请人 发明人
分类号 B65G47/46;B07C5/36;B65G49/07;B65H5/04;B65H43/00;G01B21/00;G01R31/26;H01L21/66;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 B65G47/46
代理机构 代理人
主权项
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