发明名称 INSPECTING METHOD FOR PATTERN
摘要
申请公布号 JPH03152406(A) 申请公布日期 1991.06.28
申请号 JP19890291845 申请日期 1989.11.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHASHI HIDEMI;KANEKO TADASHI;YAMAMOTO ATSUHARU
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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