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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03152848(A)
申请公布日期
1991.06.28
申请号
JP19890292720
申请日期
1989.11.09
申请人
NEC CORP
发明人
HOSOKAWA KAZUNORI
分类号
H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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