发明名称 IN-VACUUM CONVEYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03152022(A) 申请公布日期 1991.06.28
申请号 JP19890288128 申请日期 1989.11.06
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 KOYANO SHINJI
分类号 B65G54/02;H02K49/10 主分类号 B65G54/02
代理机构 代理人
主权项
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