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发明名称 INSPECTING APPARATUS FOR FLAW
摘要
申请公布号 JPH03152447(A) 申请公布日期 1991.06.28
申请号 JP19890292763 申请日期 1989.11.09
申请人 NEC CORP 发明人 FUKUSHIMA MIKI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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