发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03151651(A) 申请公布日期 1991.06.27
申请号 JP19890291612 申请日期 1989.11.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIKAWA MASAHIKO;FUDEYASU YOSHIO
分类号 G01N21/66;H01L21/66 主分类号 G01N21/66
代理机构 代理人
主权项
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