| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03151628(A) |
申请公布日期 |
1991.06.27 |
| 申请号 |
JP19890290214 |
申请日期 |
1989.11.08 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
UEMOTO YASUHIRO;FUJII EIJI;SENDA KOJI;NAKAMURA AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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