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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03151661(A) 申请公布日期 1991.06.27
申请号 JP19890290045 申请日期 1989.11.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KUDO HITOSHI
分类号 H01L21/8249;H01L21/337;H01L27/06;H01L29/808 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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