摘要 |
<p>Es wird ein Widerstandsmeßfühler zur Erfassung von Gaszusammensetzungen, insbesondere von Abgasen von Verbrennungsmotoren, vorgeschlagen, der gegenüber bekannten Widerstandsmeßfühlern den Vorteil hat, bei kurzer Ansprechzeit beträchtlich alterungsbeständiger zu sein. Erreicht wird dies dadurch, daß die als Halbleiterschicht ausgebildete Widerstandsschicht in dafür vorgesehene Aussparungen oder Schlitze des vorgefertigten Sensor-Trägerkörpers eingebracht oder eingesintert wird, und darüber eine poröse, elektrisch nicht leitende Engobe oder eine Schutzschichtstruktur in Form eines Gitters oder Rasters aufgebracht wird. Durch diese Maßnahmen wird der Zugang des Meßgases zur Halbleiterschicht ermöglicht, die Halbleiterschicht aber gleichzeitig vor korrosiven, erosiven und/oder kavitativen Angriffen aus dem Abgas geschützt.</p> |